Contrôle de débit d’azote gazeux*
Contrôle de débit d’azote gazeux
* dans le process de fabrication des semi-conducteurs
Mesure de débit d’azote ultra pur sur des chaînes de production de semi-conducteurs. L’azote ultra pur permet le nettoyage des impuretés après le processus de gravage du silicium de circuits intégrés Haute Fréquence pour la téléphonie.
Les mesures sont à réaliser à pression maximale de 7 bars à un débit brut maximum de 5 m³/h. Pour une adaptation rapide sur le réseau de gaz à mesurer, les raccords sont de type rapide « Swagelock ». Cette mesure doit avoir une perte de charge minimum et présenter un risque nul de contamination du gaz.
| Convertisseur Minisonic II | Manchette de mesure |
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| Minisonic II | Développée sur-mesure pour le client, elle est constituée d’un corps en Inox de diamètre de passage ¾” dans lequel sont implantées des sondes de 500 KHz. |
Le montage en mode reflex permet d’augmenter le trajet acoustique et de minimiser les longueurs droites, ce qui permet d’atteindre des précisions répondant au cahier des charges du client (voir résultats COFRAC ci-dessous).
| Qmr (kg/s) | ρ (kg/m3) | Qvr (dm3/h) | Qvd (dm3/h) | % erreur | Pression amont absolue (Pa) |
| 2,049e-3 | 7,036 | 1048,4 | 1047 | -0,1 | 597251 |
| 2,066e-3 | 7,033 | 1057,5 | 1056 | -0,1 | 597123 |
| 3,933e-3 | 7,027 | 2015 | 2011 | -0,2 | 596623 |
| 3,961e-3 | 7,025 | 2030 | 2036 | 0,3 | 596349 |
| 6,867e-3 | 7,010 | 3527 | 3533 | 0,2 | 595108 |
| 6,926e-3 | 7,015 | 3554 | 3546 | -0,2 | 595688 |
| 9,630e-3 | 6,997 | 4955 | 4978 | 0,5 | 593988 |
| 9,678e-3 | 7,001 | 4977 | 4974 | -0,1 | 594588 |
L’étude mécanique, le savoir-faire d’Ultraflux en hydraulique et le soin apporté à la réalisation de la manchette assurent une perte de charge pratiquement nulle.
