Contrôle de débit d’azote gazeux*

* dans le process de fabrication des semi-conducteurs

CONTEXTE

Mesure de débit d’azote ultra pur sur des chaînes de production de semi-conducteurs. L’azote ultra pur permet le nettoyage des impuretés après le processus de gravage du silicium de circuits intégrés Haute Fréquence pour la téléphonie.

DESCRIPTION DE L’APPLICATION

Les mesures sont à réaliser à pression maximale de 7 bars à un débit brut maximum de 5 m³/h. Pour une adaptation rapide sur le réseau de gaz à mesurer, les raccords sont de type rapide « Swagelock ». Cette mesure doit avoir une perte de charge minimum et présenter un risque nul de contamination du gaz.

MATÉRIEL UTILISÉ

Convertisseur Minisonic P Manchette de mesure
Convertisseur Portable MINISONIC P Manchette de mesure
Il s’agit d’un appareil de mesure portable. Développée sur-mesure pour le client, elle est constituée d’un corps en Inox de diamètre de passage ¾ » dans lequel sont implantées des sondes de 500 KHz.

RÉSULTATS

Le montage en mode reflex permet d’augmenter le trajet acoustique et de minimiser les longueurs droites, ce qui permet d’atteindre des précisions répondant au cahier des charges du client (voir résultats COFRAC ci-dessous).

Qmr (kg/s) ρ (kg/m3)  Qvr (dm3/h) Qvd (dm3/h) % erreur Pression amont absolue (Pa)
 2,049e-3  7,036  1048,4  1047  -0,1  597251
 2,066e-3  7,033  1057,5  1056  -0,1  597123
 3,933e-3  7,027  2015  2011  -0,2  596623
 3,961e-3  7,025  2030  2036   0,3  596349
 6,867e-3  7,010  3527  3533   0,2  595108
 6,926e-3  7,015  3554  3546  -0,2  595688
 9,630e-3  6,997  4955  4978   0,5  593988
 9,678e-3  7,001  4977  4974  -0,1  594588

AVANTAGES

L’étude mécanique, le savoir-faire d’Ultraflux en hydraulique et le soin apporté à la réalisation de la manchette assurent une perte de charge pratiquement nulle.